Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе - скачать книгу , читать онлайн

Void

Виртуозы
Регистрация
2 Фев 2013
Сообщения
518,645
Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе




Короткое описание книги

В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники.

Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия.

Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик.

Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов.

Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов.

Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики.

Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.



Подробнее, скачать »
 
Сверху