Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением - скачать книгу , читать онлайн

Void

Виртуозы
Регистрация
2 Фев 2013
Сообщения
518,645
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением




Короткое описание книги

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом.

Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий.

В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.



Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения.

Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.


Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения.

Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.


Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ.

Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.


Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования.

Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.



Подробнее, скачать »
 
Сверху